挑战
半导体设备生产厂房车间洁净度是半导体设备生产过程中最关键的环节之一,车间设计需要全面考虑车间的布局、设备选型、通风系统、管道系统和安全措施等方面。
芯源微公司是专业从事半导体生产设备的研发、生产和销售的国家高新技术企业。上海临港新片区“芯源微临港研发及产业化”项目,园区占地45亩、规划总建筑面积约5.4万平方米,项目建筑主体包含研发楼、综合服务中心、生产厂房、配建库房、门卫以及四个连廊等。
半导体设备生产厂房在工业建筑中属洁净建筑,车间洁净度是半导体设备生产过程中最关键的环节之一。为此,车间设计需要全面考虑车间的布局、设备选型、通风系统、管道系统和安全措施等方面。由于本项目地处沿海地区,我们担心传统工艺墙板日后会因气候问题发生腐蚀,因此需要因地制宜,选择当地企业常用的耐腐蚀材料。
凯谛思为本项目提供了从项目策划、招采至验收的全过程项目管理服务。本项目的生产厂房 ,按不同的功能分区,分为百级间、千级间及万级间。二层以百级洁净间为主,采用华夫筒及高架地板结构,FFU进行上送下回的通风方式。三层主要以千级洁净间为主。施工过程中需要重点关注空气净化系统、纯废水系统、洁净装修、照明设计和洁净管控等内容。
我们通过定期召开BIM专题会,提前进行空间管理协调,识别出了多个建筑结构不合理的地方,例如连廊的高度不够,比较压抑,于是立刻调整结构高度,达到美观效果。另外研发楼走廊吊顶内的空间有限,通过BIM模型进行了合理布局,解决了吊顶标高问题,规避了返工和潜在的成本增加。
针对可能发生的墙板腐蚀问题,凯谛思团队专门考察了当地企业,将他们通常采用的耐腐蚀墙板进行对比选择。
优秀的项目管理顾问,永远都能找到应对的办法。本项目在编写招标文件的关键时期遇到疫情封控,为了确保招标文件的准确性及合理性,团队成员积极适应远程合作,为解封后顺利招标打下了坚实基础。
此外,项目按照绿建二星标准设计了海绵城市、混凝土预制构件、雨水回用、太阳能热水系统等可持续设施,在引领科技革命的同时,积极实践可持续发展。
经过各方的不懈努力,芯源微临港研发及产业化项目已于2024年3月正式竣工投产,将具备较强的国际先进水平半导体设备研发能力,加速高端半导体设备的国产替代进程。芯源微临港厂区建成后,将凝聚芯源微最高技术水平的人才资源,研发团队将在此打造世界一流水平的半导体高端装备,为中国芯片整体竞争力的提升做出贡献。